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Neutralisierung von Ionenstrahlen hoher Intensität mittels einer Mikrowellen-Plasmaquelle
Arnd Müller
ISBN 978-3-89722-784-2
157 pages, year of publication: 2001
price: 40.50 €
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- Implantation
- Neutralisierung
- Mikrowellen-Plasma
- Direkteinkopplung
- PFS
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