In dieser Dissertation werden die zerstörungsfreien ionenstrahlanalytischen Methoden PIGE und RBS mit klassischen werkstoffwissenschaftlichen Ansätzen verknüpft und zur Charakterisierung der Oxidschichten eingesetzt. Insbesondere die mit PIGE in hoher Auflösung ermittelten Fluor-Tiefenprofile können als Indikator für einen erfolgreichen Hochtemperaturoxidationsschutz verwendet werden. Zur Fluorierung kommen neben der Beamline-Ionen-Implantation auch chemische Verfahren zur Anwendung, die eine Behandlung komplexer Bauteilgeometrien ermöglichen. Darüber hinaus werden viele Details daegelegt, vom Design der Vakuumkammer bis hin zur Fehlerrechnung, die für eine erfolgreiche Durchführung von Ionenstrahlanalysen an Beschleunigern nützlich sind.
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