Dabei stehen insbesondere Untersuchungen zur Beschaffenheit der Oberflächenmorphologie und die genaue Analyse der Grenzflächenzusammensetzung im Vordergrund. Zur Erhöhung der Strukturkomplexität ist außerdem die Nutzung komplementärer Strukturierungsverfahren von großer Bedeutung. In diesem Zusammenhang wird eine Strategie vorgestellt, die die Kombination von konventionellen photolithographischen Methoden mit der Strukturgebung durch Selbstorganisation ermöglicht (Hybridstrukturierung).
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