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Optische 2,5D-Rekonstruktion mikroskopischer Objekte

Axel Bürkle

ISBN 978-3-8325-0468-7
162 pages, year of publication: 2004
price: 40.50 €
Die Oberflächen-Vermessung mikroskopisch kleiner Objekte gewinnt zunehmend an Bedeutung. Vor allem in der Mikrosystemtechnik besteht Bedarf an flexiblen Messsystemen zur Profilerfassung. Die Einsatzgebiete reichen von der überwachung von Mikromontagevorgängen bis hin zur Qualitätskontrolle.

Das in dieser Arbeit vorgestellte Messsystem basiert auf einem konventionellen Auflichtmikroskop, das um die fehlende Möglichkeit der Tiefenmessung erweitert wurde. Das System eignet sich sowohl zur schnellen punktuellen Distanzmessung (Online-Einsatz) als auch zur Erfassung des kompletten Mikroskopbildes (Offline-Einsatz). Beide Einsatzgebiete wurden im Rahmen einer flexiblen Mikroroboter-basierten Mikromontagestation erprobt und evaluiert.

Das Messsystem zeichnet sich durch seine innovative, adaptive Bilddatenauswertung, einen außergewöhnlich großen Messbereich von drei Größenordnungen und eine hohe Wirtschaftlichkeit aus. Am Lichtmikroskop selbst sind nur minimale Modifikationen erforderlich.

Keywords:
  • Sensorik
  • Bildverarbeitung
  • Robotik
  • Mikrosystemtechnik
  • Automation

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