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Neutralisierung von Ionenstrahlen hoher Intensität mittels einer Mikrowellen-Plasmaquelle
Arnd Müller
ISBN 978-3-89722-784-2
157 Seiten, Erscheinungsjahr: 2001
Preis: 40.50 €
Keywords:
- Implantation
- Neutralisierung
- Mikrowellen-Plasma
- Direkteinkopplung
- PFS
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