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Design, Simulation und Entwicklung von resonanten Mikrosturkturen für Sensoranwendungen
Olaf Renken
ISBN 978-3-89722-408-7
160 Seiten, Erscheinungsjahr: 2000
Preis: 40.50 €
Design, Simulation und Entwicklung von resonanten Mikrosturkturen für Sensoranwendungen
Keywords:
- Mikrosystemtechnik
- Additive Mikrogalvanik
- MEMS /Mikroelektromechanisches System)
- Resonator
- Drehratensensor
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