Werkzeuge und Methoden zur Automatisierung der seriellen Nanomontage im Rasterelektronenmikroskop

Thomas Wich

ISBN 978-3-8325-2035-9
238 Seiten, Erscheinungsjahr: 2008
Preis: 38.00 €
Werkzeuge und Methoden zur Automatisierung der seriellen Nanomontage im Rasterelektronenmikroskop

Die fortschreitende Miniaturisierung in der Mikrosystemtechnik und der Boom der Nanotechnologie verlangen nach ausgefeilten Technologien zur Analyse, Manipulation, Handhabung und Montage kleinster Bauteile und Bau-gruppen. Das vorliegende Buch analysiert die Arbeitsumgebung und die Herausforderungen, die an solche Montagesysteme gestellt werden. Darauf aufbauend werden Werkzeuge und Methoden vorgestellt, die die Automatisierung solcher Fertigungsprozesse auf der Nanoskala ermöglichen.