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Kapazitive mikromechanische 1D- und 2D-Ultraschallwandlerarrays für bildverarbeitende Systeme
Andreas Buhrdorf
ISBN 978-3-8325-1025-1
178 Seiten, Erscheinungsjahr: 2005
Preis: 40.50 €
Keywords:
- Mikrosystemtechnik
- Ultraschallwandler
- elektrostatische Anregung
- Oberflächenmikromechanik
- Herstellungsprozess
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