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Experimentelle und numerische Untersuchung von Elektronendichte und -energieverteilung in einer ECR-Entladung

Dirk Hemmers

ISBN 978-3-89722-635-7
152 pages, year of publication: 2001
price: 40.50 €

Keywords:
  • ECR-Entladung
  • Niedertemperaturplasma
  • Thomsonstreuung
  • Elektronenenergieverteilungsfunktion
  • Plasmamodellierung

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